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匀胶工艺会出现的问题

时间: 2018-12-05 15:33:53   点击:
 问题1:表面出现气泡
 
  可能原因:滴胶时胶中带有气泡
 
  喷嘴尖端切口有问题或带刺
 
  问题2:四周呈现放射状条纹
 
  可能原因:
 
  胶液喷射速度过高
 
  设备排气速度过高
 
  胶涂覆前静止时间过长
 
  匀胶机转速或加速度设置过高
 
  片子表片留有小颗粒
 
  胶中有颗粒
 
  问题3:中心出现漩涡图案
 
  可能原因:
 
  设备排气速度过高
 
  喷胶时胶液偏离衬底中心
 
  旋图时间过长
 
  加速度过高
 
  问题4:中心出现圆晕
 
  可能原因:
 
  不合适的托盘,
 
  喷嘴偏离衬底中心
 
  问题5:胶液未涂满衬底
 
  可能原因:
 
  给胶量不足
 
  不合适的匀胶加速度
 
  问题6:出现针孔现象
 
  可能原因:
 
  空气中粉尘
 
  光刻胶内存在颗粒或气泡
 
  衬底上存在颗粒

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