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匀胶机使用小技巧

时间: 2018-09-20 14:17:55   点击:
  方法/步骤
 
  1
 
  一、旋涂仪拆箱,从箱中取出来,旋涂仪以及配套的说明书,导气管等附件;
 
  2
 
  1、依次接上真空泵的导气管、废液接收罐、废液接收罐上方是排废气的软管。
 
  3
 
  2、充氮N2/干燥气体CDA的连接,一般这个细管(如上图4所示,口径为6mm)需要接到氮气瓶或者实
 
  验室已有的氮气接口。
 
  4
 
  3、氮气瓶的接口如下图所示,这种接口是箍橡皮管,需要换成找转接头接上旋涂仪的6mm的白色塑料管。
 
  5
 
  4、充氮气或者干燥空气的压力需要60~70 PSI
 
  6
 
  5、按“START”键启动程序,直到完成;
 
  7
 
  6、依次关闭真空泵、氮气和匀胶机开关;
 
  END
 
  注意事项
 
  注意事项,防止胶水进入Chuck的孔中、氮气压不可过大(细调到NEED CDA消失即可)、片子尺寸较大时旋转速度不能太快(以防飞片)等注意事项:在操作该设备时,请根据指示,勿将试剂、溶液、粉状物等异物吸入承载基片下的真空通道,保持基片底座和真空通道周边部位清洁、干燥。

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