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HOT Plate热板烘烤

时间: 2020-07-27 10:13:13   点击:
对于大批量生产的用的匀胶显影机的OVEN单元,为什么在硅晶圆等基片与热板是非接触的,这样的设计的理念是有一定的科学依据的,热的传递方式无非就三种:传导、辐射、对流等方式,非接触正好实现了最后两种科学经验,对于热板的均匀性有大大的提高,所以对晶圆的烘烤均匀性更好!

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