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硅片甩干机不能甩干的原因

时间: 2018-10-08 13:41:27   点击:
1.检查甩干桶内是否有积水,如有积水清洗甩干桶,疏通管道;
2.检查油浴炉乙二醇液位是否正常,如液位过低则加乙二醇;
3.检查门盖上的加热带是否烧坏,如烧坏则更换;
4.检查氮气阀是否打开;
5.延长喷氮时间;
6.适当提高循环2速度(但不允许超过设备的极限速度);
7.适当提高喷氮压力;

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