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DP-100型匀胶机的产品介绍

时间: 2018-05-24 15:08:29   点击:
  一.产品应用
 
  DP-100型匀胶机(Spin Coater),是新一代旋转涂膜设备,具有速度精度高,主动式速度调控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂层的制备。
 
  二.产品特点
 
  1.机身外壳采用SUS304不锈钢制作,防腐蚀、不生锈、易清洁。
 
  2.真空室采用316L耐腐蚀不锈钢制作,防止长期使用过程中胶液的侵蚀。
 
  3.接胶盘为PP材料经精加工制作而成,接储脱离基片的胶液,避免进入设备内部。耐腐蚀、可拆卸、易清洗。
 
  4.旋转台采用铝材制作,表面经过硬质氧化处理,耐摩擦同时避免划伤基片底部。防止胶液的腐蚀。
 
  5.匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程最多可分十段进行,每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。
 
  6.4.3英寸液晶触摸屏使控制更方便;运行状态及各项参数实时显示,更直观了解匀胶进程;
 
  7.旋转前增加预吸片步骤,“预吸片时间”最多为99s,确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤,“解吸片时间”最多为99s,确保安全停止后再切断真空,释放基片,防止涂膜后的基片滑落,对膜层造成损伤。
 
  8.采用精密稳定的直流电机及驱动器,旋转速度采用主动控制方式,区别于老旧的被动测速控制方式,从而使旋转速度更精确。
 
  9.标配无油真空泵,低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台,防止飞片。
 
  三.技术参数
 
  1.旋涂速度:400~8000 rpm
 
  2.转速调节精度:1rpm
 
  3.每段加速时间:1~99 s
 
  4.每段匀胶时间:1~99 s
 
  5.预吸片时间:1~99 s
 
  6.解吸片时间:1~99 s
 
  7.镀膜尺寸:5-100mm
 
  8.真空泵抽气速率:60L/min

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